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Dexmet微電子0.1mm PFA延展過濾支撐層在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用

發(fā)布日期:2025-03-20 作者:大連義邦科技 瀏覽數(shù):142
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大連義邦推出的DEXMET PFA全氟過濾支撐網(wǎng),特別設(shè)計(jì)用于高端芯片生產(chǎn)中的嚴(yán)格過濾需求,尤其是在達(dá)到0.1mm過濾精度方面表現(xiàn)出色,是半導(dǎo)體行業(yè)高效過濾系統(tǒng)的重要解決方案之一。這種過濾支撐層材料通過先進(jìn)的延展工藝,實(shí)現(xiàn)了高精度過濾,并具備高通量、耐用性和抗污染特性。


 

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,特別是在高端芯片的生產(chǎn)過程中,過濾技術(shù)扮演著至關(guān)重要的角色。由于高端芯片的制造涉及到極其精細(xì)和復(fù)雜的工藝步驟,如光刻、薄膜沉積、蝕刻和化學(xué)機(jī)械拋光等,這些步驟對(duì)環(huán)境的潔凈度要求極為嚴(yán)苛。

 

即使是微小的顆粒污染,也可能對(duì)芯片造成無法挽回的損害,導(dǎo)致功能失效或性能下降。因此,采用高效的過濾解決方案來移除這些微粒,對(duì)于確保最終產(chǎn)品的高質(zhì)量和可靠性是至關(guān)重要的。在這一領(lǐng)域,過濾技術(shù)不僅僅是選擇性的,而是成為了一個(gè)不可或缺的組成部分,直接影響到產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)效率。

 

為確保這些工藝的完整性,高性能過濾系統(tǒng)必不可少。這些系統(tǒng)必須有效去除空氣中的顆粒、氣體雜質(zhì)和液體污染物,以維持半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的超潔凈環(huán)境。但是傳統(tǒng)過濾方法往往難以滿足半導(dǎo)體制造日益嚴(yán)格的要求。而高精密PFA延展過濾網(wǎng)則提供了更優(yōu)越的解決方案。


 

DEXMET PFA全氟過濾支撐網(wǎng)

 

以大連義邦DEXMET PFA全氟過濾支撐網(wǎng)為例,該產(chǎn)品在設(shè)計(jì)之初就考慮到了高過濾精度和大通量的過濾需求,適用于聚四氟乙烯全氟過濾結(jié)構(gòu)。根據(jù)特定的材質(zhì)、過濾精度、材料寬度、材料厚度、開放面積、孔徑以及其他特殊工藝要求,它能夠滿足多種產(chǎn)品應(yīng)用。此外,PFA全氟過濾支撐網(wǎng)采用國際領(lǐng)先的延展工藝,技術(shù)上遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)編織工藝。

 

目前,在國際上,除了DEXMET,其它供應(yīng)商還無法實(shí)現(xiàn)0.1mm厚度的工業(yè)化量產(chǎn)。這種延展網(wǎng)是由定制的精密模具沿一個(gè)方向撕裂和拉伸而成。DEXMET是少數(shù)能夠穩(wěn)定生產(chǎn)高純度PFA和PTFE聚合物延展網(wǎng)的國際供應(yīng)商之一。這種高精密支撐層具有極強(qiáng)的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性,良好的自潤滑性和極低的摩擦系數(shù),使得過濾磨損極小。


 

0.1mm厚度的PFA延展支撐層的優(yōu)勢(shì)

 

●更高的開孔率:開孔率超過70%,而編織過濾器的開孔率僅為30%-50%,Dexmet的延展網(wǎng)允許更大的流量和更低的壓降。這一設(shè)計(jì)使得過濾器能夠提供更大的氣流通道,顯著減少系統(tǒng)的壓降,從而優(yōu)化氣流效率,減少能耗和降低運(yùn)營成本。與此同時(shí),高開孔率意味著更高的過濾精度和更高的空氣通過率,使得整個(gè)生產(chǎn)環(huán)境更加穩(wěn)定。

 

●精確的厚度控制:過濾器可精確制造至0.1mm的厚度,完全滿足半導(dǎo)體應(yīng)用中對(duì)過濾精度和尺寸的嚴(yán)格要求。無論是在大規(guī)模生產(chǎn)線上,還是在精密工藝的細(xì)節(jié)把控中。

 

●良好的抗污染能力:通過采用獨(dú)特的三維延展網(wǎng)結(jié)構(gòu),Dexmet過濾網(wǎng)有效抵抗細(xì)小顆粒的堵塞,極大地延長了過濾器的使用壽命。即使在極端的生產(chǎn)環(huán)境中,它也能保持卓越的過濾效果,減少停機(jī)時(shí)間和更換頻率

 

Dexmet PFA延展過濾網(wǎng)的應(yīng)用

 

目前,大連義邦的Dexmet PFA延展過濾支撐網(wǎng)贏得了全球領(lǐng)先過濾制造商的青睞,包括Pall集團(tuán)等行業(yè)巨頭的信任。這種過濾網(wǎng)代表了過濾技術(shù)的創(chuàng)新,提供了行業(yè)領(lǐng)先的精度、耐用性和性能。通過將這些先進(jìn)的過濾器集成到生產(chǎn)流程中,制造商能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)高質(zhì)量、可靠半導(dǎo)體芯片所需的超潔凈環(huán)境。

 



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